产品用途:
本机主要用于硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面研磨。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计,性能优良,完全能满足用户的使用要求。
主要特点:
1.本机采用龙门式结构,外型美观大方,提高了整机刚度。
2.本机为下研磨盘升降方式、下研磨盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁,以满足改变游轮啮合高低位置的需要。
3.本机继承其它研磨机压力控制的成功经验:采用四段压力,即轻压、中压、重压、修研(轻压)的运行过程。
4.本机采用PLC、四行文本显示器,变频调速,电机速度由外设电位器手动随时调节;速度由预设的四段速度因运行时间而自动改变,四段速度的运行时间与四段压力时间相对应。设备留有工件测厚装置接口。
5.接液盆、护圈的设计采用半露式结构,保证了设备工作时不会漏砂,并且便于用户对设备进行清理。
主要技术参数:
1.研磨盘尺寸:φ1118mm× φ386mm×50mm
2.游轮参数:英制:Z=200DP=12α=20°
公制:Z=142M=3α=20°
3.游轮数量:5片
4.最小研磨厚度:0.50mm/φ125mm,0.40mm/φ100mm,
0.35mm/φ75mm
5.最大研磨厚度:30mm
6.最大研磨直径:φ350 mm
7.下研磨盘转速:0~60rpm
8.主电机:11kW380V1460rpm
9.三相电泵1/4HP380V
10.外形尺寸(长×宽×高):2000mm×1550mm×2668mm
11.质量:约6000kg
主机精度:
1.下研盘端面跳动0.08mm
2.上、下研磨盘平面度:0.030mm(只检查下盘)
3.太阳轮径向跳动:0.12mm
4.齿圈径向跳动:0.20mm
加工精度(四个修正轮修研后):
1.厚度一致性:0.008mm
2.上下面平面度:0.005mm
3.上下面平行度:0.006mm
加工能力:1.单片承片量:17片/Φ75mm8片/Φ100mm5片/Φ125mm
2.整盘承片量:85片/Φ75mm40片/Φ100mm25片/Φ125mm
品牌 | 风雷 | 型号 | X61 1118S-1型 |
应用领域 | 半导体、太阳能电池、光学光电子、计算机配件(硬盘、支架等)、视窗、液晶显示等行业 | 外形尺寸 | 2×1.55×2.668(m) |
重量 | 约6000(kg) | 工作方式 | 行星式 |
类型 | 专用研磨机 | 驱动方式 | 电动研磨机 |
作用对象 | 硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料 |